是一種無(wú)色液體；熔點(diǎn)250K、沸點(diǎn)409K，有制激性氣味。它在水中或潮濕的空氣中都極易水解，冒出大量的白煙。TiCl4+3H2O==H2TiO3+4HCl因此TiCl4在軍事上作為人造煙霧劑，猶其是用在海洋戰中。在農業(yè)上，人們用TiCl4形成的濃霧地面，減少夜間地面熱量的散失，保護蔬菜和農作物不受?chē)篮?、霜凍的危害?/p>

隨著(zhù)科技的進(jìn)步和精密儀器的應用，薄膜厚度測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類(lèi)：直接測量和間接測量。直接測量指應用測量?jì)x器，通過(guò)接觸（或光接觸）直接感應出薄膜的厚度。常見(jiàn)的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據一定對應的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過(guò)計算轉化為薄膜的厚度，從而達到測量薄膜厚度的目的。

第二：靶毒的影響因素影響靶中的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例，反應氣體過(guò)量就會(huì )導致靶*。反應濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區域內出現被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(cháng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應氣體量增加過(guò)度，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調整反應氣體流量，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全*，在靶面上沉積一層化合金屬膜。使其很難被再次反應。